描述:Advanced Energy®的 OR400M光學(xué)高溫計將Sekidenko產(chǎn)品系列的應(yīng)用范圍擴展至3.3um-5.2um的中紅外波長范圍。OR400M可進(jìn)行單通溫度測量,用于半導(dǎo)體設(shè)備的高精密溫度測量,用于硅片,腔室的精確測溫。OR400M支持RS-232和模擬數(shù)據(jù)接口。OR400M設(shè)計緊湊,易于集成,可滿足許多工藝應(yīng)用的要求。
品牌 | Advanced Energy/優(yōu)儀 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,航天,汽車,電氣 |
優(yōu)點:
溫度范圍為50℃C至1300℃
讀取速率高達(dá)250Hz
單通道配置可選/固定發(fā)射率
高速、固態(tài)檢測器
可配置的過濾器、檢測器和光學(xué)傳輸系統(tǒng)
RS-232連接模式
應(yīng)用:
適用于半導(dǎo)體外延,太陽能薄膜和玻璃類工藝
技術(shù)參數(shù):
通道配置: | 帶可選/固定發(fā)射系數(shù)的單通道溫度測量 |
測溫范圍: | 50-1300℃ |
測溫波長: | 3.3 和 5.2 um |
讀取速率: | 高達(dá)250 Hz |
測量精度: | ±3℃℃ |
重復(fù)精度: | ±0.1℃℃,正常情況下 |
分辨率: | 0.01°C |
顯示: | 無,可通過RS232設(shè)置 |
數(shù)據(jù)I/O: | US232,可達(dá)115kB |
模擬輸出: | 0-10V或4-20mA |
電源: | 交流:90 to 263 VAC,47 to 63 Hz直流:24V DC |
環(huán)境參數(shù): | 18-40℃,非冷凝 |
物理尺寸: | 32 mm (H)x 57 mm (W)x 235 mm (D) |
重量: | 0.39kg |
安裝: | 框架安裝、安裝孔安裝等 |